1kW程控微波源

HMPG 1kW/2450MHz高稳定程控微波功率源

技术特点

●   该产品采用最新辅助磁场线圈控制设计方案，功率从100W至1000W任意调节，可手动或计算机联机控制，稳定度高，使用方便可靠。

●   控制面板采用数字显示，输出功率和反射功率一目了然，并提供计算机接口，可方便地联机实现过程控制。

●   本产品广泛地用与CVD金刚石和类金刚石膜；微波等离子体刻蚀；陶瓷烧结；ECR离子源，以及其它系统中所需的微波源。

●   本产品采用先进的连锁保护系统，提供优化的操作控制方案，安全可靠。

技术参数

工作频率：           2450 ± 50MHz

输出功率：           100 ~ 1000W

输出稳定度：        优于±1%

电源：                      380V/50Hz, 三相四线

连接波导：            BJ-26 (WR430), FD-26

Output ripple:         小于2% RMS (满负荷状态下，50Hz)

冷却水：                /min

微波泄漏：            符合国际标准

外形尺寸：            710 (L) x 435(W) x 600 (H)

重量：

主要产品：微波化学;微波高温烧结;微波等离子体;微波传输系统;微波源;

成都纽曼和瑞微波技术有限公司
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